该晶圆研发厂坐落在豫东地域,关键生产的方式8屏幕尺寸半导晶圆,每日生活污水废气量约800吨。因生产的方式期间中运行非常多盐酸去晶圆蚀刻,引发生活污水下氟化物氧化还原电位超过200-300mg/L,远超祖国废气基准(10mg/L下面)。
电镀废水基本成分及来原
焦化废水主要的来自于这几个方式:
晶圆蚀刻步骤
:含高有机废气浓度氟化物(HF)、硝酸铵及一定量巨资属
化工物理抛光处理(CMP)化工废水
:含nm级硅粒状、有机肥料络合剂
生产设备擦洗工业废水
:含异丙醇、化学需氧量等有机肥料物
外理生产技术的流程
用到"化学反应结晶+混疑结晶+深度.吸附"两级办理操作系统:
4级解决
:加药氯化钙和氢氧化反应钙,演变成氟化钙沉积,氟化物剔除率达85%
二级考试处置
:移除PAC(整合氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),我们要除胶体溶液态水污物
三级视频处置
:完成多有机溶剂滤水器和活性酶类炭吸附剂,出水量氟化物盐浓度固定在8mg/L以內
重要环保设备包涵:pH自己转换程序、斜管水解池、板框过滤机(废水脱水情况)。
结果使用效果
工程项目加载三年期监测方案数据源提示 :
氟化物均衡氧化还原电位:7.2mg/L(不低于发达国家的标准)
COD剔除率:92%
生活污水含水分率:≤65%
年收购 氟化钙副车辆约150吨,实行产品化利用率