某半导创造的企业因晶圆除垢工步行成含氨废水外理,需水量200吨/天。废水外理中除高锰酸盐指数外还包含有氟化物和进样器巨资属,外理難度大。本地人摆放规格需求高锰酸盐指数<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废水处理基本成分及來源
晶圆家电清洗污废水 (主要的来原):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工步污废水 :含进样器铜、镍等血本属,pH值震荡大
CMP粉磨污废水 :含硅颗粒剂及挥发酚
处置方法操作流程
通过"化学上沉垫+膜隔离+折点氯化"组合起来鑫霖环保:
预正确处理
:加药系统CaCl2除氟,管理pH在7.5-8.
反渗透膜体统
:去掉0.01μm上面的粒子物
超滤性和提液
:将挥发酚提液至1000mg/L以上的
折点氯化
:透彻掌控氯污泥脱水量,将高锰酸盐指数转化率为氦气
阴阳离子交易
:安全保障天价属及格
决定目的
氧化还原电位动态平衡<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属分子量小于的检测限
水工业废水处理率达75%
淤泥诞生量下降40%