深圳某光电器件电源芯片造成厂，晶圆粗加工全过程中生成含硅、氟的个性化废液，的设计操作占比1200吨/日。废液基本成分繁多，具有纳米级级硅科粒及盐酸，传统文化操作的方法无法达到标准。 污废水 成分表及收入 包括污染破坏物 ：氢氧化铁硅（100-500nm粒度分布）、氟阴离子（200-300mg/L）、异丙醇 源生产工序 ：晶圆刻蚀生产化工废水（45%）、CMP物理机械化抛光处理生产化工废水（40%）、设备清洗阴道水（15%） 工作技艺流程步骤 什么是创新主要包括"化学工业结晶+特总膜溶合"高技术线路： 钙盐沉积 ：加药氯化钙除掉氟阳离子（转成CaF2沉淀物） 水解酸化池发应 ：pp水解酸化池剂体现胶体溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔的直径膜虚报冒领微细粒子 反融入模式 ：脱盐率>98%，环保再生资源回加标回收率75% 蒸馏凝结 ：浓水段确保氟化物0排放物 最中目的 氟化物浓度值：<8mg/L（高于祖国4级原则10mg/L） 硅量：<5mg/L 水能源中水回用率：70%用做保压塔补湿 垃圾减量化：减压蒸馏渣滓量较老式艺减轻60%