半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体设备精致公测配置涉重污废水 ——MVR硬性循环法零排投资项目
产品蓝本
半导体行业材料高档测封顶目,数量150每立方米/天,是首家半导体行业材料测封配置涉重生活污水零排顶目。测封方面的镀镍、镀铜、引线层次结构清晰会造成含镍含铜生活污水,园区规划要"无尾水外排",产水任何循环于产线。
污水水质共同点与思路
废渣以含镍为重(溶液浓度10–100毫克/升),伴极少量铜、锌,pH变化大(2–12),另外光刻胶存留的极少量生产物。测封厂场景紧,标准清理设施设备拆迁赔偿小;零排表明着浓水是不能土石方工程有很多,就必须本市减压蒸馏结晶体前馈。
清理工学院艺线路
整体风格走"分质汇集 → 预治疗除杂 → 耐腐蚀沉定除镍 → 过滤程序 → UF+两极RO → MVR禁止间歇蒸馏 → 冷疑水中水回用":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢防氧化物钠合成Ni(OH)₂悠长岁月中,多加加硫钠广度捕集器残渣镍(加硫镍Ksp比氢防氧化物镍更小,如何把镍压到0.1毫克/升下面的);
沉积水流经多有机溶剂筛选程序+门卫筛选程序后进UF,再进1级RO,产水马上回产线冲洗;
RO浓水(含盐+残存血本属)进MVR強制间歇法减压蒸馏器,強制间歇法能扛高含盐积垢,减压蒸馏器原有百度在线洗掉,不容易堵;
MVR蒸汽加热水回来工业废水处理水盆,多效蒸发残液委外焚烧炉或用作垃圾救治,这个工业区无固体外排。
要素机优势表示
MVR被迫间歇相信中国传统降膜蒸馏器,间歇流体密度高、冷却面不能结镍盐/碳酸盐垢,适于公测种"储水量不高但水的质量杂"的情境;一起化撬装来设计征占比中国传统蒸馏器塘+多效蒸馏器方案设计小60%以下;废气侧一体化海洋生物滤池,把调试池和污水间的废气提取后生物降解成CO₂和水,制止公测厂紧临办公室区的刺鼻味道举报。
操作效用与竞争力
水流镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,不同于《塑胶电镀严重污染排卸规范》表三;全部150万m³/天产水回收利用于测封产线刷洗,代替品等量新的水;垃圾(挥发残液+厌氧颗粒污泥)量比民俗"奠定+排卸"方式减约70%。对富士康侧,测封建设项目环保节能审批卡点打伤通;